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半导体制造中存的滤波器会,包括晶体管、电容器和二极管等小型电子组合件。这些组合件可以集成成以形成诸如微处理器和 RAM之类的高级设备之类的高级设备。制造过程所涉及使用超纯水和危险化学品,必须对其进行过滤,以确认高质量的设备和产量。关键要素包括:
•:晶片由高度纯化的 “生长而成”,使用 SC1 和 SC2 进行加工,以形成绝缘层。
• 晶圆制造:更大的晶圆允许每个晶圆都有更多的集成电路,从此增加产量。该过程涉及多个步骤,例如光刻和刻刻。
• 光刻:所涉及使用光阻剂和需要专门过滤晶圆中的显影剂创建图案。
• 湿度法和干法刻:湿法刻刻使用诸如HF之类的化学物质,而干式刻印所涉及等离子体的生成以进行精确确刻刻。
• 离开:使用食人鱼或溶解剂等化学物质的去除光刻胶,需要特殊过去。
• 杂志和沉积量:氧化、杂杂和化学气相沉积等过程中,在晶圆中产生电气特性至关重要。
• CMP:化学机械光/平坦化使用需要持续再循环和过滤的平滑晶片的表面。
• 散装化学品配套系统(BCDS):通过带长寿命过滤器(如 Citadel)的泵系统输入配送来高纯度的化学品。
• 水:半导体设施需要符合严重规格的超纯水,比如反射和机械过滤技术。
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