AB-005 Principes de base de la fabrication de circuits intégrés

Des possibilités de filtration existent dans la fabrication de semi-conducteurs, qui comprennent de petits composants électroniques tels que des transistors, des condensateurs et des diodes. Ces composants peuvent être intégrés pour former des appareils avancés tels que des microprocesseurs et de la RAM. Les processus de fabrication impliquent l'utilisation d'eau ultrapure et de produits chimiques dangereux qui doivent être filtrés pour garantir des appareils et un rendement de haute qualité. Les principaux éléments sont les suivants :

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• Lingot de silicium : les plaquettes de silicium sont produites à partir de lingots de silicium hautement purifiés et traitées à l'aide du SC1 et du SC2 pour la création de couches isolantes.

• Fabrication de wafers : les wafers plus grands permettent d'avoir plus de circuits intégrés par wafer, ce qui augmente le rendement. Le processus comporte plusieurs étapes telles que la photolithographie et la gravure.

• Photolithographie : consiste à créer des motifs sur des plaquettes à l'aide de photorésistants et de révélateurs nécessitant une filtration spécialisée.

• Gravure humide et sèche : la gravure humide utilise des produits chimiques tels que l'HF, tandis que la gravure sèche implique la génération de plasma pour une gravure précise.

• Décapage : élimination de la résine photosensible à l'aide de produits chimiques tels que Piranha ou des solvants, nécessitant une filtration spécifique.

• Dopage et dépôt : des processus tels que l'oxydation, le dopage et le dépôt chimique en phase vapeur sont essentiels pour créer des propriétés électriques dans la plaquette.

• CMP : le polissage/planarisation mécano-chimique lisse la surface de la plaquette à l'aide d'une suspension qui nécessite une recirculation et une filtration constantes.

• Systèmes de distribution de produits chimiques en vrac (BCDS) : les produits chimiques de haute pureté sont fournis par des systèmes de pompe dotés de filtres à longue durée de vie tels que Citadel.

• Eau : les installations de semi-conducteurs ont besoin d'eau ultrapure répondant à des spécifications strictes, utilisant des technologies d'osmose inverse et de filtration mécanique.

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