AB-005 Conceptos básicos de la fabricación de circuitos integrados

Existen oportunidades para la filtración en la fabricación de semiconductores, que incluyen pequeños componentes electrónicos como transistores, condensadores y diodos. Estos componentes se pueden integrar para formar dispositivos avanzados como microprocesadores y RAM. Los procesos de fabricación implican el uso de agua ultrapura y productos químicos peligrosos que deben filtrarse para garantizar la alta calidad y el rendimiento de los dispositivos. Los elementos clave incluyen:

‍

• Lingote de silicio: las obleas de silicio se cultivan a partir de lingotes de silicio altamente purificado y se procesan con SC1 y SC2 para la creación de capas aislantes.

• Fabricación de obleas: las obleas más grandes permiten más circuitos integrados por oblea, lo que aumenta la producción. El proceso implica varios pasos, como la fotolitografía y el grabado.

• Fotolitografía: implica crear patrones en obleas utilizando materiales fotorresistentes y reveladores que requieren una filtración especializada.

• Grabado húmedo y seco: el grabado húmedo utiliza productos químicos como el HF, mientras que el grabado seco implica la generación de plasma para un grabado preciso.

• Depuración: eliminación de la fotorresistencia con productos químicos como piraña o solventes, que requieren una filtración específica.

• Dopaje y deposición: los procesos como la oxidación, el dopaje y la deposición química de vapor son cruciales para crear propiedades eléctricas en la oblea.

• CMP: El pulido/planarización químico-mecánico suaviza la superficie de la oblea utilizando una lechada que necesita recirculación y filtración constantes.

• Sistemas de distribución de productos químicos a granel (BCDS): los productos químicos de alta pureza se suministran a través de sistemas de bombeo con filtros de larga duración, como Citadel.

• Agua: las instalaciones de semiconductores requieren agua ultrapura que cumpla con especificaciones estrictas, utilizando tecnologías de ósmosis inversa y filtración mecánica.

‍