金属有机化学气相沉积

这种增强型化学气相沉积技术用于制造高纯度晶体半导体薄膜和微/纳米结构，是用于 LED、太阳能电池和场效应晶体管 (FET) 的行业领先技术。但是，当废气流向低温（约150℃）管道和真空泵时，MOCVD工艺（碳化硅、砷化镓、氮化镓和其他化合物半导体）也会产生粉末和颗粒。这些颗粒物可能会对真空泵造成意想不到的重大损坏。为了保护真空泵，需要高性能过滤器来在高工作温度下捕获小颗粒。