超纯化学品

Graver Technologies提供高性能过滤技术,以满足对超纯化学品的要求。

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超纯化学品

超纯化学品的高性能过滤技术

非常小的电子元件(称为半导体)的制造包括晶体管、电容器、电阻器、二极管、发光二极管、发光二极管和光电电池等设备。不同类型的设备可以集成在一起形成集成电路,或微处理器和随机存取存储器 (RAM) 等VLSI(超大规模集成)设备。高纯度工艺需要使用同样高纯度的化学品进行剥离、蚀刻、缓冲和漂洗。这些工艺使用溶剂型或水基化学品和化学混合物,所有这些化学品和化学混合物都必须过滤到纳米级,以确保最大限度地减少缺陷并实现高产量。其中许多工艺要求的温度可能超过150摄氏度,这将限制仅限于仅由氟聚合物(例如PFA和PTFE)组成的材料。

关于 Graver 的超纯化学品过滤器

  • 含氟聚合物膜和全氟聚合物结构,可满足溶剂型剥离剂、食人鱼和腐蚀性酸基产品的化学兼容性要求。
  • 制造、使用 18 mω-cm DI 水冲洗,在 ISO 7 级洁净室环境中测试和包装,以确保低萃取物和低颗粒脱落
  • 用于水基酸的 PES 膜,具有卓越的流动特性、较高的污染容量和对亚微米颗粒的持续去除。

产品选型

  • ZTEC™- 用于对含水化学品的关键颗粒进行低至 0.03 微米的控制
  • TEFTec™- 疏水 PTFE 膜,适用于更具侵略性的化学应用
  • Citadel®- 全氟聚合物过滤器,适用于最关键和最具侵略性的化学应用
  • QMA — 高效的亲水膜,可在超纯化学应用中实现可靠的颗粒控制。

支持文献

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Wastewater
Turbine Intake Elements and Prefilters
Surface Finishing
Reverse Osmosis (pre/post)
Rinse Water
Process water
Precious Metal Recovery

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