Produits chimiques ultrapurs

La fabrication de très petits composants électroniques, appelés semi-conducteurs, comprend des dispositifs tels que des transistors, des condensateurs, des résistances, des diodes, des LED et des cellules photoélectriques. Les différents types de dispositifs peuvent être intégrés ensemble pour former des circuits intégrés, ou des dispositifs VLSI (Very Large Scale Integration) tels que des microprocesseurs et des mémoires à accès aléatoire (RAM). Les procédés de haute pureté nécessitent l'utilisation de produits chimiques de même pureté pour le décapage, la gravure, le tamponnage et le rinçage. Ces procédés utilisent des produits chimiques et des mélanges chimiques à base de solvants ou d'eau, qui doivent tous être filtrés à des niveaux nanométriques pour minimiser les défauts et obtenir un rendement élevé. Nombre de ces procédés peuvent nécessiter une température supérieure à 150 °C, ce qui limitera les procédés aux matériaux composés uniquement de polymères fluorés tels que le PFA et le PTFE.