超纯水

多年来，Ultrapure 水质的规格变得越来越严格，过滤技术也不断发展以满足这些要求。半导体设施可以以 2 MGD 或约 5500 立方米/天的速度使用超纯水。半导体行业的超纯水规格是最严格的。这些自来水厂通常是独立的设施，几乎独立于晶圆厂运营。水必须同时满足颗粒和电导率规格，需要使用反渗透、树脂床和机械过滤技术。在将水输送到晶圆厂之前，额定值低于 0.1 微米的最终过滤器是典型的，在那里可以找到等级相似的使用点过滤器。