Eau ultrapure

Les spécifications relatives à la qualité de l'eau ultrapure sont devenues de plus en plus strictes au fil des ans et la technologie des filtres a évolué pour répondre à ces exigences. Les installations de semi-conducteurs peuvent utiliser de l'eau ultrapure à un débit de 2 MGD ou environ 5 500 m3/jour. Les spécifications relatives à l'eau ultrapure pour l'industrie des semi-conducteurs sont les plus strictes. Ces usines de traitement de l'eau sont généralement des installations autonomes exploitées presque indépendamment de la Fab. L'eau doit respecter à la fois les spécifications relatives aux particules et à la conductivité, ce qui nécessite l'utilisation de l'osmose inverse, de lits de résine ainsi que de technologies de filtration mécanique. Les filtres finaux dont la valeur nominale est inférieure à 0,1 micron sont typiques avant l'envoi de l'eau à l'usine, où se trouvent des filtres au point d'utilisation présentant des caractéristiques similaires.