化学气相沉积
Graver Technologies 为真空泵应用提供高性能过滤。
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高效去除高温气体真空管路中的颗粒
金属有机化学气相沉积是化学气相沉积的一种增强型变体，用于制造高纯度晶体半导体薄膜和微/纳米结构，是用于 LED、太阳能电池和场效应晶体管 (FET) 的行业领先技术。但是，当废气流向低温（约 150 ℃）管道和真空泵时，MOCVD 工艺（碳化硅、砷化镓、氮化镓和其他化合物半导体）也会产生粉末和颗粒。这些颗粒物可能会对真空泵造成意想不到的重大损坏。为了保护真空泵，需要高性能过滤器来在高工作温度下捕获小颗粒。
关于用于化学气相沉积的 Graver 过滤器
- 采用折叠式或 “径向翅片” 滤芯设计的可更换、可清洁的滤芯可在紧凑的过滤器组件中提供最大的过滤面积
- 提供积极的垫圈密封，防止未经过滤的流体绕过。确保过滤器寿命长、压降低、容污量大，过滤效率高。
- 大多数型号仅使用一个过滤器元件，以实现快速、简单的滤芯更换。
- 所有型号均可在不中断管道连接的情况下快速维修，入口/出口连接采用水平直列式配置
产品选型
- Consler® LKV/HKV 系列真空过滤器 -在高工作温度下保护真空泵
支持文献
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