Fabricación de obleas

Los filtros plisados de Graver Technologies proporcionan un control económico de partículas de alto rendimiento en los procesos de fabricación de obleas.

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Filtración para la fabricación de obleas

Tecnología de filtración de alto rendimiento para la fabricación de obleas

La oblea sirve como base sobre la que se construye el circuito integrado. El diámetro de las obleas ha ido aumentando a lo largo de las décadas a medida que mejoraban las tecnologías de fabricación. Las obleas de 150 mm eran habituales hasta 1995, mientras que las de 200 mm se volvieron habituales hasta principios del año 2000, cuando se desarrollaron 300 mm. En la actualidad, se están desarrollando obleas de 450 mm. La razón de ser de las obleas más grandes es que se pueden construir más circuitos integrados individuales sobre una sola oblea a medida que aumenta el diámetro. Por ejemplo, una oblea de 200 mm tiene un área de 31.416 mm2, mientras que una oblea de 300 mm tiene un área de 70.686 mm2. Con los mismos procesos, la producción puede prácticamente duplicarse (2,25 veces) debido al aumento del área. El procesamiento de la oblea implica la construcción de varios pasos, capa tras capa, sobre la oblea. Cada capa pasa por un proceso de fotolitografía, horneado, revelado, grabado y pulido, y se interconecta en varios lugares hasta que todo el circuito se convierte en un dispositivo integrado.

Acerca de los filtros Graver para la fabricación de obleas

  • Tecnología plisada económica para proporcionar una alternativa uniforme y de alta eficiencia a los filtros de bolsa
  • Mejora de la limpieza del agua desionizada en el proceso de enjuague, lo que resulta en una reducción significativa de la cantidad de defectos y un mayor rendimiento del producto, lo que proporciona un ahorro general y una mejora del proceso.
  • La membrana PES ofrece características de flujo superiores, alta capacidad de contaminación y eliminación constante de partículas submicrométricas para productos químicos de limpieza de obleas

Selección de productos

  • PME™, PMC™ - como opción plisada para bolsas para un control general de partículas en el agua.
  • ZTEC™ - para el control de partículas críticas incluso en baños de limpieza
  • WaterTec™ - Membrana de 0,05 a 0,2 micras como opción de membrana económica
  • Ciudadela™ - Filtración de alta capacidad diseñada para mantener la pureza química y del agua durante el procesamiento de las obleas
  • XL™ - Filtro de polipropileno plisado con medio de profundidad compuesto para una eliminación uniforme de partículas en aplicaciones de una sola pasada

Literatura de apoyo

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